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国产光刻机自主之路

在我国自主造芯的路上，光刻机是最大的拦路虎，一方面是由于这项设备糅合了很多国家的先进技术与配件，研发起来十分困难；另一方面是老美的限制，导致ASML无法出口给我们最先进的EUV光刻机。

而且ASML还泼来冷水，忠告我们不要做自研光刻的无用功，表示：即便给中国图纸，他们也造不出来。

不过，哪怕是再尖端的设备技术也是人造的，而非神造的。有着攻坚传统的中国科研团队不惧质疑，中科院牵头迅速投入到了光刻设备的研发之中。

功夫不负有心人，经过近一年时间的沉淀，国产光刻机接连传出振奋人心的好消息。

先是清华大学突破并掌握了最关键的EUV光源技术，其后，上海微电子自研的国产28nm光刻机完成技术认证，将于年底正式上线。

总体来看，我们光刻设备的国产化之路即将走完。

ASML传出消息

谁曾想到，在这关键时刻，ASML却动作频频，其首席官Peter多次公开示好中国市场，表态乐意提供技术帮助，助我们完善半导体产业链，并痛批老美芯片断供决策的不公平与不合理。

在第一季度出口给我国11台光刻设备之后，让不少网友都觉得，ASML倾慕我国市场，或许是真心倒向着我们的。

然而，ASML在获得我们的好感之后，它在深圳的研发中心就开始大举招揽我国的光刻人才，为突破3nm光刻机做准备。这本来没有什么，相互促进发展挺好的。

但是ASML的又一个动作，让我们彻底认清了它的真面目。

据国家专利局公开资料显示，ASML近两年大量在我国申请光刻专利。要知道，此刻正是我们突破光刻垄断的"瓶颈"之时，ASML把那些必要专利都申请了，国产光刻机该怎么办，即便研发出来了，得不到ASML的专利授权，依然不能用。

很显然，ASML正在构筑"专利"壁垒，这无异于在"围剿"国产光刻机。更气人的是，这很多专利都是出自华人工程师之手！在国产替代化的潮流下，我们居然"自缚手脚"，这实在是令人难以置信。

值得强调的是，ASML在第一季度卖给我们的那11台光刻机，都是压箱底的清仓货，而且，这类低端光刻机，我国刚实现自主，我们自己也能造！ASML这是在变相的积压国产光刻企业的市场。

任正非果然有远见

ASML一日"三变脸"的态度非常不利于我国半导体产业的发展。

事实上，在如何对待海外企业态度转变的问题上，任正非早就说过：不要心存侥幸，更不要抱任何幻想！唯有埋头苦干，才是国产科技崛起的康庄大道！

当初ASML数次示好中国市场，让我们大有沾沾自喜的傲娇心态，以为全球科技企业都要围着我们转，现在看来，恰恰相反。不得不说，任正非果然有远见！

对于ASML"锁专利"、"挖人才"的行为，我们的确需要做点什么。

毫不手软的设限，让这些用心不良的外企尝点苦头，是最直接的办法。

另外，我们在满负荷研发之时，也要注重专利的申请，这样未来或能以专利交叉授权的方式摆脱依赖。

最后，"人才"是科技的核心竞争力，对人才的培养和保护非常重要，这是我们赢下未来的保障！

对此，你们怎么看？

ymxs

其实就光刻机这一个门类，我觉得可以支持国内出一个类似印度仿制药的强制法案，既然你们不卖我，那我就无视专利，自己做

aixinxiaozhan

回复一下二楼的朋友
其实在国家利益面前什么专利都是扯淡，直接拿来仿制招呼用就行了，但是有个前提是要你有足够的能力把他仿制出来才行。就拿光刻机来说，机器要用到传感器吧，精密轴承吧，机械臂吧，电控系统吧，可以说光刻机就是一堆高精高科技零件堆出来的，里面提到的很多精密配件咱们无法国产，而且这些产品都是一些受控于欧美的大集团公司生产储备的，比如说某些特殊型号的零备件，只要一提到这个型号，人家就知道你是用在哪里的，根本就不会卖给你

simon5

都是钱的问题，钱到位了，什么都能砸出来。
精度都是扯，从无到有是最简单的。
不卖就自己搞。
两弹一星不也搞出来了，北斗不也搞出来了，空间站不也搞出来了。

cat19901119

说得很风光，但是老任的麒麟芯还是产量不足，反正短期内国产光刻机还是不指望的了

ez2233

唉，只能一步一步来了，液晶面板不也是被卡脖子了几十年，着急不得。

whychin

动不动就说卡脖子，动不动就说针对你，人家的光刻机是外星人给的技术吗？人家的机器是从无到有造出来的，我们有成品都研究不明白，着急不得，也没得着急了